Selon les caractéristiques du matériau du substrat, la précision de la surface du substrat, la rugosité de surface et les types de polluants particulaires, les méthodes de nettoyage laser actuelles peuvent être divisées en deux catégories suivantes.
1) Méthode de nettoyage à sec au laser. Le laser irradie directement la surface de l'objet, contamine les particules ou absorbe de l'énergie sur la surface, puis fait sortir les particules de la surface par diffusion thermique, photo décomposition et gazéification.
2) Méthode de nettoyage humide au laser. Vaporisez du liquide non contaminé (principalement de l'eau, parfois de l'alcool) sur la surface du matériau à nettoyer, puis irradiez-le au laser. Après avoir absorbé l'énergie laser, le milieu liquide produira une vaporisation explosive et éloignera les particules de pollution de la surface du matériau. De plus, la méthode dite de nettoyage des composés laser a été proposée. L'énergie laser est absorbée par le matériau du substrat, puis le milieu intermédiaire adsorbé est chauffé par convection thermique, et le milieu intermédiaire produit une vaporisation explosive. Entraînées par un débit d'air élevé, les particules sont séparées de la surface du substrat avec le milieu intermédiaire.
