Récemment, les fabricants de laser chinois ont mis en œuvre avec succès une solution d'automatisation laser du substrat de carbure de silicium {0}}, ce qui a considérablement réduit les pertes, une vitesse de traitement accrue et favorisé la réduction des coûts et l'amélioration de l'efficacité dans l'industrie du carbure de silicium.
Auparavant, les fabricants de laser chinois ont pris les devants lors du lancement de l'équipement de décapage laser du substrat en carbure de silicium conducteur "{0}}", et ont remporté la reconnaissance du "premier équipement domestique" en janvier de cette année.
Par rapport aux matériaux de silicium traditionnels, le carbure de silicium a une bande interdite plus large, un point de fusion plus élevé, une mobilité électronique plus élevée et une conductivité thermique plus élevée. Il peut fonctionner de manière stable dans une température élevée et des conditions de haute tension. Il est devenu un matériau clé pour la mise à niveau de nouvelles industries de l'énergie et des semi-conducteurs, et a favorisé les révolutions technologiques dans les véhicules électriques, la production d'énergie photovoltaïque, les réseaux intelligents, les communications sans fil et d'autres domaines.
Cependant, la proportion de coûts de matériaux de substrat dans le coût global reste élevé, ce qui entrave sérieusement l'industrialisation et la promotion à grande échelle des dispositifs en carbure de silicium. L'un des moyens importants de réduire les coûts et d'augmenter l'efficacité est de fabriquer des matériaux de substrat en carbure de silicium plus gros. Comparé à 6- pouces et 8- pouces substrats, 12- pouces Les matériaux de substrat peuvent étendre davantage la zone disponible pour la fabrication de puces sur une seule plaquette, augmenter considérablement la production et réduire les coûts unitaires dans les mêmes conditions de production.
En décembre 2024, les entreprises domestiques en carbure de silicium ont révélé la dernière génération de substrats de carbure de silicium 12-. Tout en dirigeant la tendance du développement international, ils ont également présenté la demande de découpage de substrats en carbure de silicium de taille ultra-large supérieurs à 12 pouces.
En conséquence, les fabricants de laser chinois ont lancé la "technologie de décapage laser de substrat de carbure de silicium de taille ultra-large" à la vitesse la plus rapide, en prenant les devants pour résoudre le problème "tranchant" de 12- pouces et des substrats de carbure de silicium plus grands.
Cette technologie peut atteindre un positionnement précis, un traitement uniforme et un décapage continu des lingots en carbure de silicium. Ses avantages exceptionnels sont:
- Automation- L'automatisation de l'amincissement des lingots, du traitement au laser, du décapage du substrat et d'autres processus a été réalisée. Chaque processus peut être utilisé en parallèle et la ligne de production peut être déployée de manière flexible.
- Faible perte- Aucune perte de matériau pendant le processus de décapage laser. Seuls environ 80-100 μm de matériau doit être retiré des surfaces supérieure et inférieure dans le processus d'amincissement ultérieur. Par rapport à la technologie de coupe traditionnelle, la perte de matières premières est considérablement réduite.
- Grande efficacité- Le temps de production du substrat est considérablement raccourci, ce qui accélère l'itération de la recherche et du développement de la technologie de substrat en carbure de silicium de taille ultra-large. Il peut également être utilisé pour la production de masse à grande échelle de substrats en carbure de silicium de taille ultra-large à l'avenir, favorisant la réduction des coûts et l'amélioration de l'efficacité dans l'industrie.
En tant qu'industrie typique de la technologie, l'industrie des matériaux semi-conducteurs a été en proie au manque de technologies et de talents haut de gamme, et les années de blocage de technologies étrangères ont entravé le développement rapide de l'industrie. L'équipe fondatrice du fabricant de laser chinois est venue du Laboratoire de technologie nanophotonique et d'instruments de l'Université de West Lake. L'équipe est profondément engagée dans le domaine de l'optoélectronique micro-nano depuis de nombreuses années, notamment la technologie de traitement des micro-nano et les équipements d'instruments, la théorie des photons micro-nano et les appareils optoélectroniques, les théories et les technologies des applications intelligentes pour les fabricants de laser intelligents.
Selon les prévisions de Yole, d'ici 2027, la taille du marché mondial des dispositifs de puissance en carbure de silicium atteindra 6,7 milliards de dollars, avec un taux de croissance annuel composé de 33,5%, devenant un matériau de base dans le domaine de la nouvelle énergie et des semi-conducteurs. Les verres AR chauds utilisent également du "carbure de silicium" comme matériau de l'objectif pour terminer la transition des performances. Il est prévu que la taille du marché mondial des lunettes AR dépassera 300 milliards de dollars américains en 2030, devenant un autre "nouvel océan bleu" pour l'application de matériaux en carbure de silicium. On pense qu'avec la progression continue des processus de fabrication et l'expansion continue des champs d'application, les dispositifs en carbure de silicium brillent finalement dans les champs semi-conducteurs et optiques.
MRJ-Laser est une entreprise professionnelle d'instruments et d'équipement intégrant la R&D, la production et les ventes. Il est positionné pour résoudre les points de douleur de l'industrie de la fabrication avancée, appliquer la technologie de base des informations optoélectroniques micro-nano et fournir des instruments et équipements de caractérisation de traitement de précision. Avec la mission d'aider chaque percée technologique, elle continue de promouvoir le développement de technologies innovantes dans l'industrie de l'optoélectronique.
MRJ-laser a appliqué une technologie de traitement laser ultra-dérivante à l'industrie du substrat de carbure de silicium, a terminé le développement de l'équipement de décapage laser du substrat de carbure de silicium et des systèmes intégrés et a réalisé l'application des entreprises de premier plan du substrat en carbure de silicium. Le produit a été certifié comme premier équipement en Chine. La technologie pertinente a également un potentiel d'application prometteur dans le traitement de nouveaux matériaux de substrat tels que le nitrure de gallium et le diamant.
