Comme nous le savons tous, il n'y a qu'un seul fabricant au monde qui peut produire de la lithographie EUV, c'est leASML des Pays-Bas.
La raison pour laquelle il n'y a qu'un seul fabricant dans le monde est qu'ASML a lié de nombreux fabricants clés, tels que Zeiss (Zeiss), une société d'optique allemande, Cymer (États-Unis) etTRUMPF (Allemagne).
ASML a lié ces fabricants à son chariot par le biais d'investissements, d'acquisitions, de participations, de la création de centres de recherche, etc., et ces fabricants sont probablement les seuls fabricants au monde à pouvoir produire ces produits, donc en fin de compte, seul ASML au monde peut produire la lithographie EUV.
Cependant, récemment, une chaîne d'approvisionnement clé d'ASML s'est rendue à Shenzhen, en Chine, pour construire une usine, sa filiale de Shenzhen s'est installée dans le parc de démonstration industrielle sino-allemand (Europe) de Baoan.
Ce fabricant est le groupe allemand TRUMPF (TRUMPF), c'est la lithographie EUV d'ASML, le seul fournisseur de source laser au monde.
Les produits TRUMPF dans la lithographie EUV, quelle importance ? D'abord, écoutez-moi vous expliquer le principe de la lithographie EUV, vous comprendrez.
Le principe de la lithographie EUV, pour le dire simplement, est centré sur trois systèmes principaux, le système de source de lumière ultraviolette EUV, le système de miroir objectif et le système de table.
Le processus spécifique consiste à utiliser un laser pour exciter une longueur d'onde de 13,5 nm de lumière ultraviolette extrême, qui est ensuite corrigée pour former un faisceau de lumière contrôlé, qui est ensuite projeté sur une table de photomasque avant d'être projeté à travers un miroir objectif sur une table d'exposition et enfin gravé dans un circuit sur une plaquette de silicium recouverte de résine photosensible.
Comment l'un des systèmes de source de lumière UV EUV est obtenu en bombardant une gouttelette de métal d'étain (Sn) avec un laser CO2 d'une puissance de 30 kW, en l'évaporant dans un plasma et en obtenant finalement une lumière EUV à une longueur d'onde de 13,5 nm.
Ce laser CO2 de 30 kW est fourni par TRUMPF, le seul au monde.
Ne sous-estimez pas ce laser CO2, il comporte 457 329 pièces, la longueur du câble dans le système peut atteindre 7 322 mètres et le poids est de 17 090 kg, ce qui est l'un des composants de base les plus importants de la lithographie EUV.
Maintenant, TRUMPF a couru en Chine pour construire une usine, l'intention est claire, c'est-à-dire optimiste quant au marché chinois du laser, et encore plus à long terme, optimiste quant au marché chinois de la lithographie, l'avenir pourrait coopérer avec la Chine pour construire la lithographie EUV .
En fait, il existe déjà plus d'une chaîne d'approvisionnement ASML en Chine pour construire une usine, il y a KMWE et d'autres fabricants, également en Chine pour construire une usine.
Selon la tendance actuelle, nous pouvons espérer avec optimisme qu'il ne faudra pas longtemps avant que la technologie de lithographie chinoise ne fasse un grand pas en avant, et même le volume de production de lithographie EUV, peut également être attendu, pensez-vous ?
