Le laser est l'une des inventions majeures des sciences naturelles du XXe siècle. En 1960, le premier laser a été produit dans le monde. Par la suite, les lasers présentant une bonne cohérence, de petits angles ennemis et une concentration d'énergie élevée ont été largement utilisés dans divers domaines, tels que la télémétrie laser, le traitement au laser et la communication au laser. Au début des années 1980, les gens ont commencé à utiliser des rayons laser à haute énergie pour illuminer la surface de la pièce, ce qui a provoqué l’évaporation ou le décollement instantané de la saleté, de la rouille ou du revêtement et la suppression efficace de l’attachement ou du revêtement l'objet à grande vitesse. Le processus de nettoyage de la surface du matériau est le nettoyage au laser. Au cours des dix dernières années, le nettoyage au laser est passé du laboratoire aux applications pratiques. Il a été utilisé dans divers moules pour produits en caoutchouc, pour moules en silicone, pour enlever l’huile, la rouille, les vestiges culturels, les cartes de circuits microélectroniques et d’autres matériaux. avantages sociaux.
Au milieu des années 1980, afin de répondre aux besoins de la production industrielle visant à éliminer les particules minuscules sur les modèles de mémoire, le nettoyage au laser a fait l'objet d'une attention et de recherches approfondies et a été officiellement reconnu comme une méthode de nettoyage efficace que les chercheurs ont essayé d'utiliser. Les méthodes de nettoyage classiques telles que le nettoyage mécanique, le nettoyage chimique et le nettoyage par ultrasons pour éliminer les particules submicroniques attachées au gabarit sont loin d'être idéales. Comme la force d’adsorption des particules sur le gabarit (force de van der Waals, force électrostatique, etc.) est assez étonnante, comme des particules de 1 μm, sa force d’absorption à la surface du gabarit est environ 106 fois supérieure à celle de ses particules. gravité, et la méthode de nettoyage mécanique ne peut pas être complétée. L'élimination des particules minuscules, le nettoyage chimique peut conduire à la corrosion et à la recontamination du gabarit. Le nettoyage par ultrasons nécessite que le gabarit soit placé au centre de la vibration sonore, ce qui provoquera la rupture du gabarit. Le nettoyage au laser est produit dans de telles circonstances. Dans ce cas, on a commencé à l’étudier systématiquement: son aspect a résolu le problème de la contamination à la surface du gabarit et, avec le développement de la technologie de nettoyage au laser, il a également été largement utilisé dans de nombreux autres domaines.
À la fin des années 1980, des scientifiques ont découvert que recouvrir la surface du substrat d’une couche auxiliaire liquide était plus propice à l’élimination des particules contaminantes. Parmi eux, l'eau est une couche auxiliaire efficace. Le procédé consistant à recouvrir la surface de l’article à nettoyer avec un film liquide d’une épaisseur de l’ordre du millimètre, puis à irradier avec un laser pour éliminer les particules contaminées constitue ce que nous appellerons plus tard le nettoyage au laser à la vapeur (humide). le type sec. Nettoyage au laser, le nettoyage au laser à vapeur a une efficacité de nettoyage supérieure. Ce n’est qu’au début des années 90 que le nettoyage au laser est véritablement entré dans la production industrielle. En fait, presque en 1987, trois groupes de recherche ont découvert indépendamment les effets du nettoyage au laser. Parmi eux, l'équipe de recherche dirigée par Zapka a obtenu le premier brevet sur le nettoyage au laser et a reconnu ses perspectives d'application dans l'industrie. Un autre groupe de recherche est l'institut Max Planck de biochimie et de physique à Toku, un scientifique. Le gabarit en silicium était recouvert de particules d'or d'une taille de 35 nm, puis le laser moléculaire à l'azote était directement irradié sur la surface solide. les particules d'or de la surface ont été éliminées avec succès, tandis que le gabarit en silicium n'était pas endommagé, ce qui indique que le laser a été utilisé pour nettoyer la surface solide. Les particules contaminées sont réalisables.
En 2001, Fourrier et ses collaborateurs ont réalisé des expériences de nettoyage au laser à vapeur sur des particules de formes, de tailles et de matériaux différents, afin de déterminer l'intensité du laser requise pour différentes particules, allant de quelques dizaines à quelques centaines de nanomètres. Le seuil est le même. Ce «seuil largement cohérent» constitue un support plus favorable à l’utilisation industrielle du nettoyage au laser à vapeur pour éliminer les particules submicrométriques. Bien que le développement du nettoyage au laser repose sur le nettoyage de petites particules solides à la surface, des recherches sur d’autres applications ont été menées en conséquence. Par exemple, dans les années 1970, après des recherches et des expérimentations, il a été découvert que les lasers nettoyaient des bâtiments et des œuvres d'art historiques. Il y a faisabilité. En 1992, l’UNESCO a utilisé avec succès le nettoyage au laser pour réparer la cathédrale Yasmin en Angleterre. Certains pays d'Europe ont également nettoyé au laser la cathédrale d'Amiens (France), la cathédrale Saint-Étienne (Vienne, Autriche), la tombe du soldat inconnu (Varsovie, Pologne). L'application du laser dans le décapage a également attiré l'attention des chercheurs. Woodroffe et al. aux États-Unis ont beaucoup travaillé dans ce domaine.
Dans les années 1990, des chercheurs allemands et japonais ont mis au point des lasers TEA-CO2 à haute puissance pour le décapage des peintures au laser et les ont utilisés pour effectuer une série d'expériences. Ce n'est qu'en 2005 que les chercheurs ont publié des articles sur le décapage des avions utilisant des lasers TEA-CO2 de haute puissance. Des scientifiques de divers pays ont également mené de nombreuses recherches exploratoires sur l’application des moisissures, le traitement de surface, les déchets d’espace et d’autres aspects, et ont obtenu des résultats remarquables.
