Dans l'équipement de revêtement sous vide, les composants internes de la cavité dans le revêtement fonctionnent pendant un certain temps, la couche de film accumulée sur la surface deviendra de plus en plus épaisse, la contrainte de la couche de film elle-même devient plus grande et, en même temps, il est un problème d'adhérence entre les couches de film déposées à différents moments, ce qui conduira à la couche de film de surface du composant est facile à tomber, dans le processus de revêtement produira beaucoup de pollution sur la surface de l'échantillon, affectant ainsi considérablement le rendement du revêtement . Par conséquent, les composants internes de la cavité doivent être nettoyés régulièrement. Le nettoyage de l'équipement de revêtement a un effet très positif sur l'efficacité et la qualité de la machine de revêtement sous vide et peut grandement améliorer la stabilité de toutes les parois et autres surfaces des composants du système sous vide dans diverses conditions de fonctionnement.
Les composants internes de l'équipement de revêtement à nettoyer comprennent la paroi interne de la chambre, la grille de la source d'ions, le support rotatif et le fil chauffant.
Méthode de nettoyage traditionnelle et inconvénients
1. Sablagetraitement. Comme le film diélectrique d'oxyde est un dépôt en phase vapeur à haute température par faisceau d'électrons sous vide, la dureté de la couche de film est élevée, la méthode de polissage au papier de verre couramment utilisée est non seulement longue et laborieuse, mais aussi l'effet de nettoyage n'est pas bon. Si seul un traitement de sablage est utilisé, parce que la dureté de surface de l'alliage d'aluminium n'est pas élevée, des grains de sable seront incrustés dans la surface de l'échantillon pendant le processus de sablage et ne peuvent pas être enlevés proprement, et ces grains tomberont pendant le processus de revêtement en raison de la haute -la vitesse de rotation des composants, ce qui affectera le taux de rendement du revêtement.
2. Méthodes de nettoyage électrochimique et d'électropolissage et de nettoyage par ultrasons. Non seulement la nécessité de démonter les pièces de la machine de revêtement consomme beaucoup de temps et d'énergie, mais le processus de démontage a également une pollution inévitable et nécessite la consommation de certains matériaux de nettoyage, en particulier lors du nettoyage de gros objets, et ses inconvénients.
3. Nettoyage manuel au laser. Grâce à la tête de nettoyage laser portable à chaque coin du nettoyage manuel de la machine de revêtement, mais l'utilisation de cette méthode de nettoyage pendant une longue période permettra non seulement à l'opérateur d'inhaler le nettoyage laser des polluants et de nettoyer les gros objets, la mise au point portable peut ne pas être stable, affectant l'effet de nettoyage et l'efficacité, et l'intensité du travail.
Par conséquent, le développement d'une méthode de nettoyage raisonnable, en particulier pour la surface interne du corps de la machine de revêtement non amovible, le nettoyage de la surface des pièces de structure fonctionnelle, comment réduire l'intensité du travail, nettoyer plus facilement et améliorer la qualité et l'efficacité du nettoyage, a été le court point de douleur du conseil de l'entretien quotidien de la machine de revêtement.
Vue d'ensemble du nettoyeur laser pour équipement de revêtement
La machine de nettoyage d'équipement de revêtement optoélectronique à longueur d'onde est spécialement développée pour les travaux de nettoyage à l'intérieur de la machine de revêtement, en utilisant un laser pour nettoyer l'intérieur de la machine de revêtement et ses composants. Le système comprend une tête de nettoyage de revêtement, un support de système, un support de robot, un robot collaboratif, une base de robot, une caméra de vision 3D, un laser à fibre pulsée, un boîtier de commande, un hôte d'opération, un refroidisseur d'eau, un support de fibre, un dispositif de source d'air et une voiture d'équilibre électrique, adaptée pour un nettoyage multi-angle et complet à l'intérieur de la coucheuse, sans démonter la coucheuse, surmontant efficacement les méthodes existantes de faible efficacité, de pollution, inadaptées au nettoyage à grand volume et à d'autres problèmes. Il surmonte efficacement les problèmes de faible rendement et de pollution et ne convient pas au nettoyage à grand volume.
Avantages de la machine de nettoyage laser pour les équipements de revêtement
1. Tête de nettoyage laser spécialement conçue dans la machine de revêtement, protection contre les gaz intégrée, nettoyage et extraction de la poussière, et mécanisme de mise au point fixe. Réduisez l'entretien de l'objectif pour assurer un travail de nettoyage stable.
2. Configuration complète de l'équipement, conception d'un système de contrôle électrique spécial, robot de contrôle coordonné, suivi automatique de la télémétrie laser, travail normal de la tête de nettoyage laser, configuration de la détection et du contrôle par induction correspondants, pour assurer le fonctionnement sûr du système. Définissez le chemin de nettoyage respectif pour différentes zones de nettoyage et établissez la bibliothèque de fichiers d'opération correspondante. Réaliser le contrôle à distance du nettoyage automatique.
3. La mesure de la distance laser suit automatiquement la distance de travail du laser de nettoyage pour assurer la cohérence de l'effet de nettoyage et améliorer la qualité du nettoyage.
4. Configurez les filtres d'adsorption et d'élimination des poussières pour assurer la protection de l'environnement contre les émissions. Concevez une enceinte pour isoler l'environnement poussiéreux, afin d'améliorer encore la protection et la sécurité de l'environnement.
5. Configurez le refroidisseur d'eau pour assurer le temps de travail stable et long du laser.
6. Configuré avec une caméra de surveillance follow-me pour surveiller et vérifier la qualité du nettoyage et faire des captures d'écran correspondantes à enregistrer pour la traçabilité de la qualité du nettoyage.
7. Conception globale légère, structure compacte, équipée d'une voiture à balance électrique, mouvement facile et flexible.
Le "nettoyage intelligent" aide à construire une usine intelligente
Machines de nettoyage laser pour équipement de revêtementsont sans contact, sans approvisionnement, sans pollution ajoutée, avec une grande précision de contrôle, sans dommage ou petit dommage, etc., les opérations de nettoyage automatiques, sont efficaces et stables. La conception de la tête de nettoyage réalise les avantages de la structure légère et intégrée de protection contre le soufflage, de l'aspiration de la poussière, de l'élimination, etc. Le robot collaboratif 6-axe est utilisé pour réaliser une opération de nettoyage automatique de longue durée, évitant l'instabilité du nettoyage manuel à l'intérieur de la grande coucheuse, tandis que la plage de travail du robot est contrôlable pour garantir la sécurité du personnel. De plus, l'utilisation de robots de vision 3D pour le suivi automatique de la concentration de travail du système de nettoyage peut être guidée et contrôlée pour éviter automatiquement les collisions, tandis que le réglage de la position initiale spécifique entre le support du système et la coucheuse peut être guidé et surveillé jusqu'au processus de travail en temps réel, améliorant l'efficacité et la précision de l'automatisation de la machine de nettoyage. Il aide à construire un atelier de revêtement intelligent et à améliorer la qualité et l'efficacité.
