Le nettoyage au laser est une technique utilisée pour éliminer les contaminants des plaquettes de semi-conducteur, offrant une méthode de contact précise et non - pour maintenir la propreté de ces composants sensibles. Il est particulièrement précieux dans la fabrication de semi-conducteurs en raison du besoin de surfaces vierges dans la production de dispositifs électroniques.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?si {?
Comment ça marche:
Le nettoyage laser utilise des impulsions laser à intensité élevée - pour éliminer les contaminants comme la poussière, les résidus ou les particules par ablation laser. L'énergie laser est absorbée par le contaminant, ce qui la fait s'évaporer, sublimer ou être éjectée de la surface, tandis que le matériau de plaquette sous-jacent reste largement non affecté.
Avantages du nettoyage au laser pour les plaquettes de semi-conducteur:
Précision:
Les lasers peuvent cibler les contaminants avec une grande précision, minimisant le risque de dommages à la structure délicate de la tranche.
NON - Contact:
Contrairement aux méthodes de nettoyage traditionnelles, les lasers ne touchent pas physiquement la tranche, ce qui réduit le risque de rayures ou de casse.
Respectueux de l'environnement:
Le nettoyage au laser réduit ou élimine souvent le besoin de produits chimiques durs utilisés dans les processus de nettoyage traditionnels.
Versatilité:
Différents paramètres laser peuvent être ajustés pour divers matériaux et types de contamination.
Applications spécifiques:
Élimination des particules, des ions métalliques et des impuretés chimiques des tranches de silicium.
Nettoyage des surfaces de plaquettes et masques de lithographie.
Retrait des contaminants introduits lors du marquage d'identification laser.
Exemple: Une étude a démontré que le nettoyage au laser pourrait éliminer les particules de différentes tailles (y compris 1 μm de particules de tungstène) des plaquettes de silicium à grande efficacité. Une autre étude a montré l'élimination des petites particules d'alumine en utilisant le nettoyage du choc laser.
